Chauffe-gaufrettes

Kamet propose des solutions de chauffage haut de gamme pour une variété d’applications de traitement de plaquettes dans l’industrie des semi-conducteurs, y compris les systèmes de dépôt de couches minces (par exemple CVD, PVD, ALD). En partenariat avec ARi, nous proposons des réchauffeurs de plaquettes à isolation minérale (également appelés réchauffeurs de substrat ou réchauffeurs de plaques) adaptés aux conditions critiques et avec des spécifications adaptées aux exigences exceptionnelles et variées de ces processus. Les chauffages de substrat entièrement personnalisés constituent souvent la meilleure solution, mais nous proposons également une gamme de chauffages à disques standard. Quel que soit le choix du client, on peut compter sur nos produits et nos conseils pour améliorer la stabilité globale du processus en garantissant une uniformité optimale de la température.

Produit estival

  • Uniformité optimale de la température
  • Convient aux processus thermiques jusqu’à 1 000 °C
  • Contrôle précis des températures de processus
  • Risque de contamination réduit
  • Connexions électroniques hermétiquement scellées
  • Intégrité du vide assurée grâce au contrôle des fuites d’hélium

Types de chauffe-gaufrettes

Le choix du chauffe-plaquettes (à isolation minérale) est déterminé par l’application requise. En raison de la nature hautement spécialisée et critique des processus de dépôt de couches minces, nos solutions de chauffage sont souvent personnalisées pour prendre en compte tous les paramètres du processus et le résultat final requis. Nous nous concentrons sur les catégories de radiateurs suivantes :

  • Une gamme de disques chauffants standards
    • de 5 cm à 16 cm de diamètre
    • disponible avec un support universel, permettant au disque d’être fileté ou soudé par le client dans ses fixations particulières
  • Chauffages de substrat/plateau personnalisés
    • conçu en collaboration avec le client pour s’adapter exactement à l’environnement d’application en ce qui concerne des facteurs tels que la taille, la forme et le matériau de la gaine

Quel que soit le choix de réchauffeur que vous faites chez Kamet, la haute qualité de nos produits et l’expertise de nos conseillers permettent d’assurer l’uniformité thermique, si essentielle aux systèmes de dépôt de couches minces.

Semiconductor wafers using mi heating

À quoi servent les chauffe-plaquettes ?

Les réchauffeurs de plaquettes sont principalement utilisés pour les systèmes de dépôt de couches minces, en particulier dans le industries des semi-conducteurs mais également pour panneaux solaires, nanotechnologies, systèmes de dépôt de couches minces, ainsi que lithographie, recuit et les industries des appareils optiques. Dans ces procédés sous vide, des revêtements ultra fins (parfois de quelques atomes seulement) sont appliqués sur une surface sous vide. Différentes techniques sont utilisées, qui nécessitent toutes différents éléments chauffants à substrat avec des propriétés et une conception adaptées aux deux. la température de fonctionnement et le type de matériau déposé.

Nos chauffe-gaufrettes sont utilisés dans les processus suivants :

  • ALD (dépôt de couche atomique) 200 °C à 400 °C
  • CVD (dépôt chimique en phase vapeur) au-dessus de 900 °C
  • PVD (dépôt physique en phase vapeur) 200°C à 400°C
  • PLD (dépôt laser pulsé) 500 °C
  • PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma) 200 °C à 400 °C
  • Pulvérisation (revêtement par bombardement du substrat avec des particules à haute énergie) 350°C

Les chauffe-plaquettes peuvent affecter directement les propriétés du film déposé, notamment en ayant une influence sur l’adhésion et les réactions chimiques. Ils sont essentiels pour garantir l’uniformité du chauffage afin que le film mince soit déposé uniformément.

Spécifications et propriétés physiques

En s’efforçant de garantir un chauffe-plaquettes parfaitement adapté à chaque application, il existe un certain nombre de variables et de spécifications que le spécialiste Kamet et/ou ARi prendra en considération :

  • Les différents types d’éléments chauffants pour substrat sont disponibles dans une gamme de formes, de tailles et de longueurs (personnalisables).
  • Les connexions électriques sont hermétiquement fermées. Le choix du joint dépend du niveau de vide et de la présence de produits chimiques/contaminants.
  • L’intégrité du vide est assurée par ARi à l’aide d’un contrôle de fuite d’hélium
  • Des brides sous vide (« joints toriques ») sont disponibles pour connecter les câbles d’alimentation et de capteur à l’extérieur du vide. Nos connecteurs chauffants métal-céramique sont également des accessoires utiles à considérer à cet égard. .
  • Les sections de chaleur chaude et froide sont personnalisables.
  • Une gaine extérieure soudée peut être fournie pour minimiser la contamination dans les environnements dangereux. Par exemple, l’acier inoxydable ou l’Inconel 600.
  • Des thermocouples internes peuvent être inclus pour une surveillance précise de la chaleur générée.

Toutes ces possibilités nous permettent de fournir des chauffe-plaquettes résistants aux environnements oxydants, inertes, réducteurs et sous vide (poussé). La très large plage de température de nos chauffe-plaquettes à isolation minérale les rend adaptés à tous les procédés de dépôt, même jusqu’à 1000°C. De plus, les chauffe-plaquettes sont très réactifs avec une excellente résistance mécanique grâce à la gaine. Des exigences strictes en matière de tests de qualité sont respectées chez ARi Industries.

Chauffages de mandrin et chauffages de plaquettes

Un mandrin de tranche est essentiellement un outil utilisé pour maintenir et sécuriser les tranches de semi-conducteurs pendant le processus de fabrication. Un réchauffeur de mandrin est un réchauffeur de plaquette, doté de mécanismes permettant de maintenir la plaquette en place pendant le chauffage. L’objectif principal d’un mandrin chauffant est de garantir que la tranche est à la température optimale pour des processus spécifiques tels que le dépôt, la gravure, la photolithographie et le recuit.

Les réchauffeurs de mandrins sont intégrés aux mandrins de plaquettes de plusieurs manières. Nous le fournissons avec des éléments chauffants intégrés. Ce sont des éléments chauffants directement intégrés au corps du mandrin. Ils peuvent fournir un chauffage uniforme sur toute la surface du mandrin, ce qui est essentiel pour maintenir la plaquette à une température uniforme.

Que peut-on faire pour vous aider aujourd'hui?

La qualité et le service Kamet

La gamme de chauffe-gaufrettes Kamet est fournie par les industries ARi des États-Unis.Ils ont des décennies d’expérience dans le monde du chauffage et sont l’un de nos partenaires les plus anciens. Le partenariat que Kamet a développé avec ARi Industries garantit un support technique complet pour la conception de solutions de chauffage sur mesure ou l’ajustement de la gamme actuelle pour répondre aux demandes d’une application particulière.

En fait, l’une des raisons pour lesquelles Kamet Heating fournit les principales sociétés européennes de semi-conducteurs est que nous soutenons activement le développement de nouveaux produits de chauffage sur mesure. En ce qui concerne spécifiquement les chauffages de substrat, où l’uniformité de la température est cruciale, les recherches d’ARi se poursuivent avec des améliorations continues des solutions d’uniformité thermique (par exemple, plusieurs zones ou dissipateurs de chaleur de substrat personnalisés).

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Example of a Wafer (heater)