Différents procédés sous vide sont utilisés pour créer des dépôts de couches minces (revêtements) de métaux, d’alliages et de non-métaux. Cela peut être réalisé par des moyens mécaniques, électromécaniques ou thermodynamiques. Les appareils de chauffage sous vide à isolation minérale de Kamet ont une large gamme d’applications dans les systèmes de dépôt.
Qu’est-ce que le dépôt physique en phase vapeur (PVD) ?
Dans le dépôt physique en phase vapeur (PVD), les métaux et les alliages sont évaporés à partir d’une source et les atomes, les ions ou les molécules sont déposés sur la surface du substrat par évaporation thermique, pulvérisation ou faisceau d’électrons (e-beam). Le choix de la technique dépend du type spécifique de matériau à déposer.
Pulvérisation magnétron
- Utilise un plasma généré électriquement entre la source et le substrat (chauffé) (généralement du verre).
Evaporation par faisceau d’électrons
- Un aimant accélère les électrons dans un faisceau intense utilisé pour chauffer le matériau en vue de son évaporation.
- Permet d’obtenir des revêtements denses d’une grande pureté sur le substrat (chauffé).
- Utilisé pour le dépôt de matériaux qui ne peuvent être obtenus par évaporation thermique standard en raison de leur faible conductivité thermique.
Évaporation thermique
- Forme la plus courante et la plus simple de dépôt
- Nécessite des conditions de dépôt sous vide poussé (10E-5 mbar et plus)
- Un élément chauffant résistif amène le matériau source dans un bateau résistif à son point d’ébullition.
- Les molécules vaporisées forment un dépôt en couche mince sur le substrat.
- Peut être utilisé pour presque tous les revêtements inorganiques ainsi que certains revêtements organiques sur une grande variété de supports.
- Plus respectueux de l’environnement
- Permet un dépôt de haute pureté à partir d’un matériau source de haute pureté (très peu de contamination grâce au vide poussé).
Quelles sont les solutions de chauffage proposées par Kamet pour le dépôt en phase vapeur (PVD) ?
Les réchauffeurs de plaquettes Kamet sont un élément important de la pulvérisation magnétron. Nous sommes également en mesure de personnaliser nos réchauffeurs de substrat (également connus sous le nom de réchauffeurs de mandrin ou de réchauffeurs d’échantillons) afin de répondre aux exigences de processus spécifiques. Par exemple, le moulage d’un élément chauffant à isolation minérale dans le mandrin de chauffage pour les surfaces PVD. Les microchauffeurs sont une autre solution de chauffage de petite taille conçue sur mesure pour le PVD.
En fait, la force de Kamet réside dans l’offre de solutions extrêmement précises et personnalisées, adaptées aux besoins spécifiques haut de gamme de nos clients dans l’industrie des semi-conducteurs. Pour de tels projets, nous travaillons également en étroite collaboration avec les spécialistes de notre société partenaire, ARi, qui fournit nos réchauffeurs MI.
Quels sont les avantages de l’utilisation d’éléments chauffants à isolation minérale pour le dépôt en phase vapeur (PVD) ?
- Températures jusqu’à 1000°C
- L’isolation minérale assure l’adéquation des éléments chauffants
- Des matériaux de gaine personnalisés sont disponibles pour s’adapter à tous les environnements.
- Transitions transparentes entre les sections chaudes et froides des appareils de chauffage
- Les sections chaudes et froides ont des diamètres égaux
- La terminaison est simple grâce aux extrémités froides qui évitent la surchauffe.
- Adapté à une densité de puissance élevée
- Uniformité de la distribution de la chaleur à une source, une plaquette, une cible ou un substrat
- Un grand rayon de courbure permet aux éléments chauffants de s’adapter aux applications complexes et incurvées.
- Chauffage précis pour les processus critiques
- Des conceptions plus minces et de faible masse sont possibles.
- Temps de chauffe rapide
- Les éléments chauffants scellés empêchent toute contamination
- Des thermocouples peuvent être inclus dans la conception.
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