Nos réchauffeurs ou câbles chauff ants à isolation minérale peuvent être utilisés pour chauffer divers processus de production de plaquettes dans l’industrie des semi-conducteurs. Les réchauffeurs peuvent être utilisés par exemple pour le recuit thermique rapide (RTA) qui implique un chauffage très rapide d’une plaquette. Mais les réchauffeurs à isolation minérale peuvent également convenir aux fours de recuit ou à d’autres systèmes de traitement thermique.
Qu’est-ce qu’une plaquette ?
Les wafers sont constitués de fines tranches de matériau semi-conducteur et sont utilisés pour la production de circuits intégrés en électronique. Au cours de la fabrication des wafers, des processus répétitifs créent des circuits complets (électriques ou photoniques). Les circuits sont construits en couches, ce qui nécessite des salles blanches pour éviter la contamination par la poussière. Différents procédés sont utilisés pendant la stratification, par exemple l’exposition aux ultraviolets et le dépôt chimique en phase vapeur. La plaquette sert de substrat pour construire la microélectronique. Différents types de substrats peuvent être utilisés : silicium, gallium (GaAs) ou substrats organiques (oxygène, carbone et hydrogène).
Sur notre page produit, vous pouvez en savoir plus sur nos solutions de chauffage MI pour les chauffages Wafer.